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對于碳基薄膜材料場致電子發射特性的研究,國內外不少單位都投入了大量資金和人力。1996年,我國也正式將該課題列入國家“八六三”計劃,我們研究組承擔了該課題的研究工作。關於碳基薄膜材料場致電子發射特性的研究,之所以受到人們的廣泛重視,是因為該研究工作不僅對于碳基薄膜材料的結構以及場致電子發射特性的研究具有科學意義,而且具有重要應用價值。碳基薄膜材料可以作為冷陰極電子源應用于真空微納電子器件、微波器件、X光管,以及掃描電子顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、傳感器等現代探測儀器中;此外,碳基薄膜冷陰極用于場發射平板顯示器(FED)也是人們關注和期盼的應用目標之一。
冷陰極場發射平板顯示是自20世紀90年代以來得到迅速發展的一種新的平板顯示技術。由于冷陰極場發射平板顯示不僅具有液晶及等離子體平板顯示器的超薄、重量輕等特點,而顯示原理和傳統的陰極射線顯示器(CRT)一樣是陰極電子發射主動型發光,因此還具有亮度高、響應快、視角寬、色彩飽和度好等傳統顯示器(CRT)的一系列優點,且能量轉換效率高。鑒于場發射平板顯示具有上述諸多優越性而受到了人們的極大重視。目前,國內外不少科研單位、高等院校、相關企業的研究中心都在積極開展該項研究工作,如在國內有中山大學、西安交通大學、東南大學、福州大學、華東師範大學、中國科學院物理所、中國科學院長春光機與物理研究所、中國科學院電子所等單位都先后開展了該項相關研究工作,并取得了一些可喜的研究進展。
冷陰極場發射平板顯示是自20世紀90年代以來得到迅速發展的一種新的平板顯示技術。由于冷陰極場發射平板顯示不僅具有液晶及等離子體平板顯示器的超薄、重量輕等特點,而顯示原理和傳統的陰極射線顯示器(CRT)一樣是陰極電子發射主動型發光,因此還具有亮度高、響應快、視角寬、色彩飽和度好等傳統顯示器(CRT)的一系列優點,且能量轉換效率高。鑒于場發射平板顯示具有上述諸多優越性而受到了人們的極大重視。目前,國內外不少科研單位、高等院校、相關企業的研究中心都在積極開展該項研究工作,如在國內有中山大學、西安交通大學、東南大學、福州大學、華東師範大學、中國科學院物理所、中國科學院長春光機與物理研究所、中國科學院電子所等單位都先后開展了該項相關研究工作,并取得了一些可喜的研究進展。
目次
1 碳基材料薄膜制備方法
1.1 概論
1.2 熱絲法化學氣相沉積
1.3 微波等離子體化學氣相沉積
1.4 脈沖激光沉積
1.5 陰極磁過濾弧
1.6 磁控濺射
參考文獻
2 場致電子發射理論簡介
2.1 場致電子發射研究概況
2.2 場致電子發射理論基礎
2.3 場致電子發射理論簡介
2.4 半導體場致電子發射
2.5 場致電子發射特性測試方法
參考文獻
3 金剛石薄膜制備及場致電子發射特性
3.1 金剛石的晶體結構
3.2 金剛石的物理化學特性
3.3 金剛石薄膜制備與生長機理
3.4 金剛石薄膜微觀結構及場致電子發射特性.
3.5 類球狀微米金剛石聚晶膜的制備及場致電子發射特性
參考文獻
4 納米石墨薄膜制備及場致電子發射特性
4.1 石墨晶體結構
4.2 石墨的物理化學特徵
4.3 納米石墨薄膜制備與場致電子發射特性
參考文獻
5 碳納米管薄膜制備及場致電子發射特性
5.1 碳納米管的結構
5.2 碳納米管的物理化學特性及其應用
5.3 取向生長碳納米管薄膜的制備及場致電子發射特性
5.4 無序生長碳納米管薄膜的制備及場致電子發射特性
5.5 碳納米管薄膜場發射發光管的制備
參考文獻
6 非晶碳薄膜制備及場致電子發射特性
6.1 非晶碳膜的結構
6.2 非晶碳膜的表征
6.3 非晶碳膜物理化學特性
6.4 納米非晶碳膜的制備及場致電子發射特性
參考文獻
7 白碳和碳氮薄膜制備及場致電子發射特性
7.1 白碳材料的結構及結構表征方法
7.2 白碳薄膜制備及其結構分析
7.3 白碳納米晶薄膜的場致電子發射特性
7.4 碳氮薄膜制備及場致電子發射特性
7.5 碳氮納米管薄膜制備及結構分析
7.6 碳氮納米管薄膜的場致電子發射特性
7.7 碳氮硼薄膜的制備及場致電子發射特性
參考文獻
8 氮摻雜類金剛石薄膜制備及場致電子發射特性
1.1 概論
1.2 熱絲法化學氣相沉積
1.3 微波等離子體化學氣相沉積
1.4 脈沖激光沉積
1.5 陰極磁過濾弧
1.6 磁控濺射
參考文獻
2 場致電子發射理論簡介
2.1 場致電子發射研究概況
2.2 場致電子發射理論基礎
2.3 場致電子發射理論簡介
2.4 半導體場致電子發射
2.5 場致電子發射特性測試方法
參考文獻
3 金剛石薄膜制備及場致電子發射特性
3.1 金剛石的晶體結構
3.2 金剛石的物理化學特性
3.3 金剛石薄膜制備與生長機理
3.4 金剛石薄膜微觀結構及場致電子發射特性.
3.5 類球狀微米金剛石聚晶膜的制備及場致電子發射特性
參考文獻
4 納米石墨薄膜制備及場致電子發射特性
4.1 石墨晶體結構
4.2 石墨的物理化學特徵
4.3 納米石墨薄膜制備與場致電子發射特性
參考文獻
5 碳納米管薄膜制備及場致電子發射特性
5.1 碳納米管的結構
5.2 碳納米管的物理化學特性及其應用
5.3 取向生長碳納米管薄膜的制備及場致電子發射特性
5.4 無序生長碳納米管薄膜的制備及場致電子發射特性
5.5 碳納米管薄膜場發射發光管的制備
參考文獻
6 非晶碳薄膜制備及場致電子發射特性
6.1 非晶碳膜的結構
6.2 非晶碳膜的表征
6.3 非晶碳膜物理化學特性
6.4 納米非晶碳膜的制備及場致電子發射特性
參考文獻
7 白碳和碳氮薄膜制備及場致電子發射特性
7.1 白碳材料的結構及結構表征方法
7.2 白碳薄膜制備及其結構分析
7.3 白碳納米晶薄膜的場致電子發射特性
7.4 碳氮薄膜制備及場致電子發射特性
7.5 碳氮納米管薄膜制備及結構分析
7.6 碳氮納米管薄膜的場致電子發射特性
7.7 碳氮硼薄膜的制備及場致電子發射特性
參考文獻
8 氮摻雜類金剛石薄膜制備及場致電子發射特性
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