聲表面波材料與器件（簡體書）

前言 第1章 緒論 1．1 聲表面波基礎 1．1．1 聲表面波器件的基本結構和工作原理 1．1．2 聲表面波的激勵和傳播 1．2 聲表面波器件的特點 1．3 聲表面波器件的發展 1．3．1 聲表面波理論和器件的發展 1．3．2 聲表面波叉指換能器理論和設計的發展 1．3．3 聲表面波壓電材料的發展 1．3．4 聲表面波器件制造和封裝技術的發展 參考文獻 第2章 聲表面波壓電材料 2．1 聲表面波壓電材料概論 2．1．1 壓電性基礎 2．1．2 聲表面波壓電材料的重要參數 2．1．3 聲表面波壓電材料的一般要求 2．2 壓電單晶材料 2．2．1 壓電單晶材料的制備和切割 2．2．2 石英 2．2．3 鉭酸鋰 2．2．4 鈮酸鋰 2．2．5 四硼酸鋰 2．2．6 鍺酸鉍與硅酸鉍 2．2．7 硅酸鎵鑭系列壓電單晶材料 2．2．8 其他壓電單晶材料 2．3 壓電陶瓷材料 2．3．1 壓電陶瓷材料的特點 2．3．2 鋯鈦酸鉛系列壓電陶瓷材料 2．3．3 壓電陶瓷材料制備技術 2．4 壓電薄膜材料 2．4．1 壓電薄膜材料的特點 2．4．2 壓電薄膜材料的制備 2．4．3 壓電薄膜材料的質量評價 2．4．4 氧化鋅壓電薄膜材料 2．4．5 氮化鋁和氮化鎵壓電薄膜材料 2．4．6 鈮酸鋰和鉭酸鋰壓電薄膜材料 2．4．7 鈮酸鉀和五氧化二鉭壓電薄膜材料 2．4．8 鋯鈦鉛酸系列壓電薄膜材料 參考文獻 第3章 叉指換能器設計理論和叉指換能器材料 3．1 叉指換能器基本原理與特性 3．1．1 工作原理 3．1．2 靜電特性 3．1．3 離散源近似 3．1．4 頻響特性 3．1．5 脈沖響應 3．1．6 阻抗特性 3．1．7 加權換能器 3．2 二階效應 3．2．1 聲電再生 3．2．2 波速變化 3．2．3 電極反射 3．2．4 體聲波輻射 3．2．5 傳播損耗 3．2．6 薄膜電極電阻 3．3 聲表面波叉指換能器材料 3．3．1 純鋁又指換能器薄膜材料的結構與性能優化 3．3．2 含過渡層的又指換能器材料 3．3．3 離子束輔助沉積優化叉指換能器材料 3．3．4 微合金化和復合結構的又指換能器材料 3．3．5 其他叉指換能器材料 參考文獻 第4章 壓電多層膜結構聲表面波器件 4．1 壓電多層介質的聲表面波場理論 4．1．1 坐標變換 4．1．2 壓電耦合波動方程的矩陣形式 4．1．3 聲平面諧波 4．1．4 傳遞矩陣 4．1．5 剛度矩陣 4．1．6 頻散方程 4．1．7 聲表面波振幅 4．2 壓電薄膜／半無限基底多層介質的聲表面波特性分析 4．2．1 聲表面波的激勵方式 4．2．2 有效介電常數 4．2．3 計算舉例 4．2．4 壓電多層介質的計算及參量的選擇 4．3 壓電多層膜結構聲表面波器件設計模型與方法 4．3．1 色散8函數模型 4．3．2 有效介電常數模型 4．3．3 耦合模（COM）模型 參考文獻 第5章 各類聲表面波器件及其設計方法 5．1 聲表面波濾波器 5．1．1 聲表面波濾波器的基本原理 5．1．2 聲表面波濾波器的設計方法 5．1．3 射頻聲表面波濾波器設計與實例 5．1．4 聲表面波濾波器的二階效應和匹配網絡 5．2 聲表面波諧振器 5．2．1 聲表面波諧振器的基本原理 5．2．2 聲表面波諧振器的設計方法 5．2．3 聲表面波諧振器的模擬 5．3 聲表面波延遲線 5．3．1 聲表面波延遲線的工作原理 5．3．2 聲表面波延遲線的設計和技術參數 5．3．3 聲表面波色散延遲線 5．4 聲表面波卷積器 5．4．1 聲表面波卷積器的基本原理 5．4．2 聲表面波卷積器的設計方法 5．4．3 單片型波導聲表面波卷積器 5．5 聲表面波傳感器 5．5．1 聲表面波壓力傳感器 5．5．2 聲表面波加速度傳感器 5．5．3 聲表面波氣體傳感器 5．5．4 聲表面波流量傳感器 5．5．5 聲表面波化學和生物傳感器 參考文獻 第6章 聲表面波器件的制備及表征 6．1 聲表面波器件的制備工藝 6．1．1 前期襯底預處理 6．1．2 金屬叉指換能器圖形的制作 6．1．3 聲表面波器件的後續工藝 6．2 聲表面波器件的性能測試 6．2．1 器件生產過程中在片測試 6．2．2 聲表面波器件的參數測試 6．3 展望 參考文獻