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集成電路製造技術：原理與工藝(修訂版)（簡體書）
商品資訊
系列名：電子科學與技術類專業精品教材
ISBN13：9787121206801
出版社：電子工業出版社
作者：王蔚
出版日：2013/08/12
裝訂：平裝
商品簡介
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商品簡介
本書是哈爾濱工業大學“國家集成電路人才培養基地”教學建設成果，全書分5個單元系統地介紹了當前矽集成電路製造普遍採用的工藝技術。第1單元介紹矽襯底，主要介紹
矽單晶的結構特點，單晶矽錠的拉制，矽片（包含體矽片和外延矽片）的製造工藝及相關理論。第2～5單元介紹矽芯片製造基本單項工藝（氧化與摻雜、薄膜製備、光刻、工藝集成與封裝測試）的原理、方法、設備，以及所依託的技術基礎及發展趨勢。附錄A介紹以製作雙極型晶體管為例的微電子生產實習，雙極型晶體管的全部工藝步驟與檢測技術；附錄B介紹工藝模擬知識和SUPREM軟件。附錄部分可幫助學生從理論走向生產實踐，對微電子產品製造技術的原理與工藝全過程有更深入的瞭解。
本書配有PPT、習題解答、微電子工藝視頻等豐富教學資源。
本書可作為普通高等學校電子科學與技術、微電子學與固體電子學、微電子技術、集成電路設計及集成系統等專業的專業課教材，也可作為從事集成電路芯片製造的企業工程技術人員的參考書。
矽單晶的結構特點，單晶矽錠的拉制，矽片（包含體矽片和外延矽片）的製造工藝及相關理論。第2～5單元介紹矽芯片製造基本單項工藝（氧化與摻雜、薄膜製備、光刻、工藝集成與封裝測試）的原理、方法、設備，以及所依託的技術基礎及發展趨勢。附錄A介紹以製作雙極型晶體管為例的微電子生產實習，雙極型晶體管的全部工藝步驟與檢測技術；附錄B介紹工藝模擬知識和SUPREM軟件。附錄部分可幫助學生從理論走向生產實踐，對微電子產品製造技術的原理與工藝全過程有更深入的瞭解。
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