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先進傳感技術(簡體書)
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先進傳感技術(簡體書)

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商品簡介
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目次
書摘/試閱

商品簡介

《中國科學技術大學精品教材:先進傳感技術》的主要內容包括:國內外先進傳感技術現狀及發展趨勢,先進傳感材料,微傳感器制造技術,傳感器建模新方法,傳感器設計、仿真及其工具軟件等新概念、新思想和新知識,以及國內外典型先進傳感器的材料特性、結構特點、原理分析和設計方法。

名人/編輯推薦

《中國科學技術大學精品教材:先進傳感技術》講述先進傳感技術,具體體現在新原理、新材料、微型化、集成化、多功能化、智能化、網絡化和融合化。書中還引入了“外化”、“體外進化”和“師法自然”等哲學概念,目的是揭示傳感技術發展的內在規律,尋求創新的有效途徑。

目次

總序
前言
第1章傳感器概論
1.1人體感官與傳感器
1.1.1人的外化
1.1.2人的體外進化
1.1.3人體感官的外化與體外進化
1.1.4師法自然與仿生傳感器
1.2傳感器的分類、構成與發展動向
1.2.1傳感器的分類
1.2.2傳感器的構成
1.2.3傳感器的發展動向
參考文獻
第2章傳感器材料
2.1電學功能材料
2.1.1導電材料
2.1.2絕緣材料
2.1.3半導體材料
2.2磁學功能材料
2.2.1磁性材料
2.2.2有機磁體
2.2.3磁電材料
2.3光學功能材料
2.3.1透光材料和導光材料
2.3.2發光材料
2.3.3激光材料
2.3.4光調制用材料
2.3.5光電材料
2.4熱功能材料
2.4.1熱電材料
2.4.2磁熱材料
2.4.3高溫材料
2.5生物體功能材料
2.5.1生物材料
2.5.2仿生材料
2.6特殊功能材料
2.6.1復合功能材料
2.6.2納米材料
2.6.3隱身材料
2.6.4聰明材料和智能材料
參考文獻
第3章傳感器工藝
3.1去除加工
3.1.1腐蝕工藝
3.1.2犧牲層技術
3.2附加加工
3.2.1鍍膜工藝
3.2.2光刻技術
3.2.3LIGA技術
3.3輔助工藝
3.3.1黏結
3.3.2共晶鍵合
3.3.3玻璃密封
3.3.4陽極鍵合
3.3.5冷焊
3.3.6釬焊
3.3.7硅—硅直接鍵合
3.3.8微裝配
3.4封裝技術
3.4.1芯片級封裝
3.4.2圓片級封裝
3.4.3系統級封裝
3.5質量控制
3.5.1微測試技術
3.5.2可靠性技術
3.6潔凈室
參考文獻
第4章微傳感器設計、建模與仿真
4.1微傳感器設計
4.1.1尺度效應
4.1.2微傳感器動力學
4.2微傳感器建模
4.2.1相似等效法
4.2.2分析力學建模
4.2.3耦合場建模
4.3微傳感器仿真
4.3.1MEMS CAD軟件
4.3.2SolidWorks軟件
4.3.3Comsol,Ansys,MATLAB軟件
4.3.4Zemax,TracePro,OptisWorks軟件
參考文獻
第5章硅電容式微傳感器
5.1典型傳感器結構及工作原理
5.1.1微型硅加速度計
5.1.2硅集成壓力傳感器
5.1.3CMOS集成電容濕度傳感器
5.2設計、建模與仿真
5.2.1硅微加速度傳感器設計
5.2.2硅集成壓力傳感器設計
5.2.3等效電學模型
5.3典型接口電路
5.3.1CAV系列接口電路
5.3.2XE2004接口電路
5.4檢測與質量保證
5.4.1加速度計的靜態校準
5.4.2硅壓力傳感器的可靠性測試
參考文獻
第6章諧振式傳感器
6.1常用的激振、拾振方法
6.1.1靜電激振與靜電拾振
6.1.2電磁激振與拾振
6.1.3壓電激振與拾振
6.1.4電熱激振與壓阻拾振
6.1.5光激振與拾振
6.2諧振式加速度傳感器
6.2.1振梁型諧振加速度計
6.2.2靜電剛度式諧振微加速度計
6.2.3DETF諧振式微加速度計
6.3諧振式壓力傳感器
6.3.1硅諧振式壓力微傳感器
6.3.2石英諧振式壓力傳感器
6.3.3振弦式稱重傳感器
6.4諧振式微機械陀螺
6.4.1工作原理及理論公式
6.4.2理論分析
參考文獻
第7章聲表面波傳感器
7.1叉指換能器
7.1.1基本結構
7.1.2聲表面波激勵
7.1.3基本分析模型
7.2SAW傳感器的結構及等效電路
7.2.1延遲線型結構
7.2.2諧振器型結構
7.2.3SAW器件等效電路
7.2.4SAW傳感器封裝
7.2.5SAW傳感器測量方法
7.3典型SAW傳感器
7.3.1SAW加速度傳感器
7.3.2SAW壓力傳感器
7.3.3SAW溫度傳感器
7.3.4SAW無源無線傳感器
參考文獻
……
第8章薄膜傳感器
第9章隧道傳感器
第10章光學傳感器
第11章圖像傳感器
第12章智能傳感器
第13章化學傳感器
第14章生物傳感器

書摘/試閱



④模糊效應——模糊量識別。人所感受的許多量是模糊量,如房間的舒適、環境的整潔、心情的愉快、飲食的美味等等。而用工程傳感器研究這些問題時,它只能對某個量值,如房間的面積、照度、灰塵量等加以判斷。從這個意義上講,工程傳感器是數字量的檢測,而人的感官是模糊量的識別。
⑤森林效應——全局與部分。只見樹木、不見森林,可以說正是工程傳感器的寫照。也就是說,工程傳感器研究個體性質。人可以通過獲取的部分信息加上以前積累的經驗,對整體進行推測。但是這種能力極端的增強使得人的感覺在某些情況下是不可信的,人也會受到欺騙,比如大家熟知的視覺欺騙、魔術等就是如此。
另外,人體感官是由生物體材料構成的,它有環境適應、自修復、自診斷、自增殖等功能,是智能材料;而工程傳感器使用的工程材料尚不具備上述智能。
1.1.4師法自然與仿生傳感器
師法自然是中國古代有名的哲學思想,而今科學技術的發展更證明了這一點。人類的認識水平遠未達到洞悉自然界之神奇的能力。生物器官結構之巧妙、能量之節省和工作性能之優越,是人造機器無法相比的。生物體結構經過20億年的物競天擇的優化,幾乎是完美無缺的。這表明由選擇進化磨合積累的功能,最符合大自然的和諧原則與優化原則。
我國古代杰出的木匠魯班,在一次上山砍樹時,不小心在山坡上滑了一跤,情急中他用手抓住身旁的茅草。人是站穩了,可手指卻被劃了一道口子,血直往外流。他感到非常奇怪,什么東西這么鋒利?于是,他重新拾起被他抓過的茅草,發現茅草邊緣長滿了許多小“牙齒”。正在思索怎樣盡快斷木的魯班高興極了,忘記了手指的疼痛,飛跑回家。就這樣,在茅草的啟發下,他終于發明了鋸子,成為我國最早的仿生大師。
1960年,美國科學家斯蒂爾(T.Steele)自1960年經過長時間的觀察研究,創立了仿生學(bionics)。仿生技術通常指模仿或利用生物體結構、生化功能和生化過程的技術。仿生學研究的目的,一是仿照生物的構造來研制設備;二是用人工制造的設備來替代人的器官。從此,生物體的精巧結構成了工程學有意模仿的對象,工程師們向生物學習,創造出眾多高性能的器件。

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