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表面等離激元(Surface Plasmon Polariton, SPP) 作為納米光學與材料科學交叉學科的研究熱點，可以實現和入射光子的相互耦合與共振，從而為納米尺度光電器件的研發提出了新的構想。本論文介紹了利用微納加工技術實現的SPP納米結構製備，應用近場光學顯微術 (Scanning near-field optical microscopy, SNOM) 對SPP聚焦、波導以及共振增強效應進行研究，以及利用有限時域差分 (Finite-difference time-domain, FDTD)方法驗證實驗結果的模擬計算。
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