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撰寫本書的目的是結合撰寫人二十多年來的工作積累和國內外最新進展，系統介紹應用X射線技術表徵薄膜和多層膜微結構的多種基本實驗裝置、實驗資料的分析理論以及各種薄膜和多層膜微結構表徵的實例，全書分三部分：基本實驗裝置、基本理論以及薄膜和多層膜微結構表徵，共十八章。
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