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本書從高純氣體與積體電路等的關係說明氣體純度重要性。積體電路的製造包括成膜、刻蝕、摻雜和注入、平衡和清洗等，無不需要各種高純氣體。高純氣體的制取是本書的核心，在制取高純氣體方面，本書介紹國內外最新文獻，包括：吸附、精餾、離子液體、貯氫材料、鈀擴散、熔體合金、膜分離、吸雜劑、多級離心和製備色譜等新技術。除了氣相色譜是氣體分析的主體外，書中介紹最新光譜、質譜和納米技術在高純氣體中雜質分析的應用。考慮高純氣體絕大部分都是易燃易爆和劇毒氣體，使用的安全措施尤為重要，其內容還包括：容器、介質、感測器和廢氣的節能減排。
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