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本書內容涵蓋納米薄膜氣敏技術發展與展望；濺射法、溶膠凝膠法納米薄膜製備技術；檢測技術；摻雜理論與元件的功率計算；氣敏感測器信號的處理與融合；實際應用。本書理論聯繫實際，內容豐富全面，有方法有應用。
本書可作為高等學校電子科學與技術專業的參考教材，供本科生和研究生選用；同時也可作為檢測技術、儀器儀錶及自動控制等有關工程技術人員的參考書。
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