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原子層沉積技術：原理及其應用（簡體書）
商品資訊
系列名：南京大學材料科學與工程系列叢書
ISBN13：9787030483751
出版社：科學出版社
作者：李愛東
出版日：2016/07/01
裝訂／頁數：平裝／381頁
規格：23.5cm*16.8cm (高/寬)
版次：一版
商品簡介
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商品簡介
本書是面向從事材料合成與製備領域的科研工作者、工程技術人員和研究生（高年級本科生）介紹原子層沉積技術－原理及其應用，分為十一章，既有原子層沉積的發展歷史、基本原理、特點和種類，又涉及原子層沉積的前驅體和生長材料，也包含了原子層沉積的理論模擬和等離子增強的原子層沉積技術，最後又著重突出了原子層沉積在不同領域的應用。
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