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本書總結了納米薄膜材料的國內外研究最新進展，既詳細地介紹了納米薄膜材料的製備方法，又介紹了它們在電子器件領域的應用。系統闡述了薄膜及納米結構的一系列製備技術，不僅包括溶膠凝膠法、MOCVD、電子束沉積、磁控濺射等傳統技術，還包括近年來新發展起來的高分子輔助沉積法、3D列印、液相-電子束誘導沉積等技術。此外，還對納米薄膜及其它納米結構的一些典型應用做了介紹，並給出實例，包括磁性薄膜的應用、氧化物薄膜在燃料電池領域的應用、相變材料在記憶體領域的應用和柔性薄膜器件等。
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