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《電子材料與器件實驗》分為“三個層次”的實驗教學內容,即基礎性實驗、提高性實驗和創新性實驗。實驗內容既涵蓋了經典的半導體物理基礎實驗,又增加了多個應用性和創新性實驗,例如太陽能電池、鋰離子電池、超級電容器、氣敏探測器、太陽能光催化等。增加實驗後,本書既豐富了實驗內容,同時又體現了物理基本原理與知識應用的重要性,目的在於緊跟科學發展前沿,提高學生的學習興趣,拓寬學生的視野,最終達到培養和提高學生科研素質和創新能力的目的。
目次
第一部分 基礎性實驗
實驗一 四探針法測量半導體電阻率
實驗二 橢圓偏振法測量薄膜厚度和折射率
實驗三 激光測定單晶矽的晶向
實驗四 熒光分光光度計測試半導體光致發光
實驗五 紫外一可見分光光度計測試光譜
實驗六 MOS結構的高頻電容一電壓特性測試
實驗七 半導體材料的霍爾係數和電阻率
實驗八 半導體材料的塞貝克係數測定
實驗九 光刻工藝
第二部分 提高性實驗
實驗十 肖特基二極管的伏安特性測量
實驗十一 電感耦合等離子體化學氣相沉積法製備矽基薄膜
實驗十二 射頻濺射法沉積氧化物薄膜
實驗十三 熱絲化學氣相沉積製備非晶碳基薄膜
實驗十四 場效應晶體管的性能測定
實驗十五 太陽能電池參數測定
第三部分 創新性實驗
實驗十六 靜電紡絲製備半導體納米材料
實驗十七 微弱電能信號的測量與收集
實驗十八 光化學電池型自供能紫外探測器
實驗十九 鋰離子電池的組裝與性能
實驗二十 超級電容器的性能測量
實驗二十一 納米氧化物半導體材料TiO3光催化性能
實驗二十二 氣敏傳感器的組裝與性能
實驗一 四探針法測量半導體電阻率
實驗二 橢圓偏振法測量薄膜厚度和折射率
實驗三 激光測定單晶矽的晶向
實驗四 熒光分光光度計測試半導體光致發光
實驗五 紫外一可見分光光度計測試光譜
實驗六 MOS結構的高頻電容一電壓特性測試
實驗七 半導體材料的霍爾係數和電阻率
實驗八 半導體材料的塞貝克係數測定
實驗九 光刻工藝
第二部分 提高性實驗
實驗十 肖特基二極管的伏安特性測量
實驗十一 電感耦合等離子體化學氣相沉積法製備矽基薄膜
實驗十二 射頻濺射法沉積氧化物薄膜
實驗十三 熱絲化學氣相沉積製備非晶碳基薄膜
實驗十四 場效應晶體管的性能測定
實驗十五 太陽能電池參數測定
第三部分 創新性實驗
實驗十六 靜電紡絲製備半導體納米材料
實驗十七 微弱電能信號的測量與收集
實驗十八 光化學電池型自供能紫外探測器
實驗十九 鋰離子電池的組裝與性能
實驗二十 超級電容器的性能測量
實驗二十一 納米氧化物半導體材料TiO3光催化性能
實驗二十二 氣敏傳感器的組裝與性能
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