電子材料製造技術實驗教程（簡體書）

本書中的實驗均用於說明和演示半導體物理和微電子器件的基本原理，適合不同大專院校的師生使用。全書分上下兩篇，上、下兩篇既獨立成篇又互為聯繫，隸屬於電子科學與技術相關專業的知識體系，其中每篇又由“基礎知識”和“實驗”兩部分構成。每個實驗均包括學習目標、建議學時、實驗原理、實驗儀器、實驗內容、實驗步驟、思考題等，旨在培養學生的實驗操作技能和實驗思考技能。本書適用於電子科學與技術、材料科學與工程、無機非金屬材料等專業方向的師生使用。

目錄
上篇 電子薄膜製備與測試分析
第1章 電子薄膜基礎知識 3
1.1 電子薄膜製備簡介 3
1.2 真空技術基礎 4
1.2.1 真空的定義 4
1.2.2 真空的獲得 5
1.2.3 真空的測量 9
1.3 濺射鍍膜工藝 10
1.3.1 直流磁控濺射原理 11
1.3.2 射頻磁控濺射原理 12
1.4 蒸發鍍膜工藝 13
1.4.1 真空蒸發鍍膜原理 13
1.4.2 電阻式加熱蒸發鍍膜 14
1.4.3 電子束蒸發鍍膜 15
1.4.4 脈衝激光沉積 16
1.4.5 分子束外延 17
1.4.6 其他蒸發鍍膜方法 17
1.5 薄膜的生長過程 18
1.5.1 薄膜的生長模式 18
1.5.2 薄膜的形核與生長 19
1.5.3 連續膜的形成 20
1.5.4 薄膜的生長過程與薄膜結構 20
1.5.5 薄膜中的應力和薄膜的附著力 23
1.6 薄膜材料的測量與表徵 24
1.6.1 薄膜厚度的測量 24
1.6.2 薄膜結構的表徵方法 25
1.6.3 薄膜成分的表徵方法 28
第2章 電子薄膜製備與分析測試實驗 29
2.1 直流磁控濺射鍍膜實驗 29
2.1.1 實驗目的 29
2.1.2 實驗原理 29
2.1.3 實驗設備及器材 30
2.1.4 實驗步驟 31
2.1.5 樣品測試及實驗數據處理 32
2.1.6 實驗思考題 32
2.2 真空熱阻蒸發鍍膜實驗 32
2.2.1 實驗目的 32
2.2.2 實驗原理 33
2.2.3 實驗設備及器材 34
2.2.4 實驗步驟 35
2.2.5 樣品測試及實驗數據處理 36
2.2.6 實驗思考題 37
2.3 電子束蒸發鍍膜實驗 37
2.3.1 實驗目的 37
2.3.2 實驗原理 37
2.3.3 實驗設備及器材 38
2.3.4 實驗方法和步驟 39
2.3.5 樣品測試及實驗數據處理 40
2.3.6 實驗思考題 40
2.4 射頻磁控濺射鍍膜實驗 40
2.4.1 實驗目的 40
2.4.2 實驗原理 41
2.4.3 實驗設備及器材 41
2.4.4 實驗步驟 42
2.4.5 樣品測試及實驗數據處理 43
2.4.6 實驗思考題 43
2.5 薄膜的微結構及形貌分析實驗 43
2.5.1 實驗目的 43
2.5.2 實驗原理 44
2.5.3 實驗設備及器材 45
2.5.4 實驗步驟 45
2.5.5 樣品測試及實驗數據處理 47
2.6 薄膜厚度及電輸運性能測試 47
2.6.1 實驗目的 47
2.6.2 實驗原理 48
2.6.3 實驗設備與器材 50
2.6.4 實驗步驟 51
2.6.5 樣品測試及實驗數據處理 57
2.6.6 實驗思考題 57
2.7 薄膜熱電偶的製作與標定綜合實驗 57
2.7.1 實驗目的 57
2.7.2 實驗原理 57
2.7.3 實驗設備與器材 58
2.7.4 實驗步驟 58
2.7.5 樣品測試及實驗數據處理 59
2.7.6 實驗思考題 60
2.8 類電容器結構薄膜器件的製作實驗 60
2.8.1 實驗目的 60
2.8.2 實驗原理 60
2.8.3 實驗設備與器材 62
2.8.4 實驗步驟 62
2.8.5 樣品測試及實驗數據處理 64
2.8.6 實驗思考題 65
2.9 薄膜光電探測器的製作與性能測試實驗 65
2.9.1 實驗目的 65
2.9.2 實驗原理 66
2.9.3 實驗設備與器材 72
2.9.4 實驗步驟 72
2.9.5 樣品測試及實驗數據處理 73
2.9.6 實驗思考題 74
參考文獻 74
下篇 電子陶瓷製備與測試分析
第3章 電子陶瓷基礎知識 77
3.1 電子陶瓷製備簡介 77
3.2 粉料性能表徵 79
3.2.1 顆粒尺寸 79
3.2.2 化學成分和含水量 80
3.2.3 粉料的密度 80
3.2.4 粉料的流動性 80
3.3 粉料的混磨 80
3.3.1 球磨 81
3.3.2 砂磨 81
3.4 粉料製備方法 82
3.4.1 高溫固相反應法 82
3.4.2 沉澱法 84
3.4.3 水熱合成法 85
3.4.4 噴霧熱分解法 86
3.4.5 溶膠-凝膠法 86
3.4.6 自蔓延合成法 87
3.4.7 溶膠凝膠自燃燒法 87
3.5 成型技術 88
3.5.1 坯體特性 88
3.5.2 成型方法 90
3.6 燒結技術 91
3.6.1 燒結過程 91
3.6.2 燒結過程的控制 94
3.6.3 燒結種類 96
3.7 電子陶瓷材料結構表徵 97
3.7.1 物相分析 97
3.7.2 顯微結構分析 99
第4章 電子陶瓷製備與測試分析實驗 101
4.1 電子基板用Al2O3陶瓷材料的製備 101
4.1.1 實驗目的 101
4.1.2 實驗原理 101
4.1.3 實驗設備與器材 104
4.1.4 實驗步驟 105
4.1.5 樣品測試及實驗數據處理 106
4.1.6 實驗思考題 107
4.2 介質移相器用BZT陶瓷材料的製備 107
4.2.1 實驗目的 107
4.2.2 實驗原理 107
4.2.3 實驗設備與器材 109
4.2.4 實驗步驟 110
4.2.5 樣品測試及實驗數據處理 111
4.2.6 實驗思考題 112
4.3 PTC熱敏電阻的製備 112
4.3.1 實驗目的 112
4.3.2 實驗原理 113
4.3.3 實驗設備與器材 117
4.3.4 實驗步驟 118
4.3.5 樣品測試及實驗數據處理 118
4.3.6 實驗思考題 120
4.4 LTCC微波陶瓷材料製備 120
4.4.1 實驗目的 120
4.4.2 實驗原理 120
4.4.3 實驗設備與器材 123
4.4.4 實驗步驟 124
4.4.5 樣品測試及實驗數據處理 125
4.4.6 實驗思考題 126
4.5 片式功率電感器用抗直流偏置鎳鋅鐵氧體材料的製備 126
4.5.1 實驗目的 126
4.5.2 實驗原理 127
4.5.3 實驗設備與器材 131
4.5.4 實驗步驟 132
4.5.5 樣品測試及實驗數據處理 134
4.5.6 實驗思考題 135
4.6 LTCF旋磁鐵氧體材料的製備 135
4.6.1 實驗目的 135
4.6.2 實驗原理 136
4.6.3 實驗設備與器材 138
4.6.4 實驗步驟 139
4.6.5 樣品測試及實驗數據處理 141
4.6.6 實驗思考題 142
參考文獻 142
附錄1 行星式球磨機的簡要使用說明 144
附錄2 矽鉬棒高溫電爐簡要操作說明 146
附錄3 TH2828 LCR數字電橋簡易使用說明 148