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微納運動實現技術(簡體書)
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微納運動實現技術(簡體書)

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本專著介紹了微納米技術領域的各種微納運動系統及相關實現技術。全書共7章:第1章主要是微納技術及微納技術應用與發展的綜述;第2章主要介紹了基於智能材料的常見的微納驅動技術類型及特性;第3章主要介紹了微納運動檢測技術;第4章概括性地介紹了微納運動系統控制策略;第5章介紹了基於直線電機的單自由度微納定位實現技術,主要是電磁式和壓電超聲式兩種情況;第6章主要介紹了單自由度宏微複合微納運動實現技術,並討論了非線性因素對微納運動性能的影響和補償策略;第7章重點介紹了本書作者提出的宏宏複合微納運動實現技術、性能特點及低速性能。本書具有很強的針對性、概括性和指導性。通過本書,讀者可以系統、全面地瞭解各種微納運動實現技術。本書可作為機電工程、控制工程、儀器科學與工程、材料科學工程,以及微電子科學等方面本科生、研究生關於微納製造的導論性教材,同時也可作為醫工交叉學科及其他相關領域研究生和廣大科學工作者、工程技術人員的學習參考資料。

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