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垂直型GaN和SiC功率器件（簡體書）
商品資訊
系列名：半導體與集成電路關鍵技術叢書
ISBN13：9787111705024
出版社：機械工業出版社
作者：(日)望月和浩
出版日：2022/07/01
裝訂／頁數：平裝／217頁
規格：24cm*17cm (高/寬)
版次：一版
商品簡介
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商品簡介
本書主要介紹垂直型GaN和SiC功率器件的材料、工藝、特性和可靠性等相關技術，內容涵蓋垂直型和橫向功率半導體器件的比較，GaN和SiC的物理性質、外延生長、製備工藝，主要器件結構與特性，以及垂直型GaN和SiC器件的可靠性研究等。
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