商品簡介
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薄膜晶體管(TFT)是一種金屬-絕緣層-半導體場效應管,迄今已經歷了60年的發展,在原理與技術方面的創新層出不窮。《薄膜晶體管原理與技術》首先概述TFT的物理基礎及典型薄膜工藝原理;接著以氫化非晶矽、低溫多晶矽、金屬氧化物和有機TFT為主,系統介紹TFT相關的材料、器件及製備技術;再以有源驅動液晶顯示和有機發光顯示兩種顯示技術為主,介紹TFT面板驅動原理及集成製造工藝技術;最後介紹柔性TFT在材料、器件及製造工藝等方面的進展及所面臨的挑戰。每章後附有知識點和思考題,思考題可供課後作業或課堂討論使用。
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