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本教材書主要介紹了微納製造科學與技術的基本理論、技術方法及工程應用，全書分為7章。第1章簡要介紹微納製造科學與技術的定義、重要發展階段、主要研究方法及其新興發展趨勢等；第2章介紹微納尺度的物理化學原理；第3章介紹豐富多彩的微納材料和結構；第4章介紹多種多樣的微納尺度加工方法；第5章講述各種微納尺度的表徵技術；第6章和第7章介紹微納製造的相關應用，涵蓋了微電子、物聯網、航空航天、光電顯示、交通運輸、醫療健康等諸多領域。本書可作為微納製造領域的研究生和高年級本科生的教材或高校教師的參考書，也可作為從事微納製造研究的科技工作者的閱讀資料。
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