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商品類型
簡體書 （1）
商品狀況
可訂購商品 （1）
庫存狀況
無庫存 （1）
商品定價
$200~$399 （1）
出版日期
2017年以前 （1）
作者
埃爾溫斯波克 （1）
出版社/品牌
化學工業出版社 （1）

三民網路書店 / 搜尋結果

共1筆商品，1/1頁
矽微機械加工技術（簡體書）
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1.

矽微機械加工技術（簡體書）

作者：埃爾溫斯波克  出版社：化學工業出版社  出版日：2007/05/01 裝訂：平裝
英國劍橋大學出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本關于微系統加工工藝方面的專著，作者MElwenspoek和HJansen等人從事過多年微系統加工工藝方面的研究工作，具有非常豐富的研究經驗。本書的主要內容包括：（1）硅的濕法腐蝕工藝及其物理機制的描述；（2）硅的表面微機械加工技術；（3）LIGA工藝；（4）硅硅直接鍵合工藝；（5）硅的干法腐蝕工藝及物理機制等，涵蓋了
海外經銷商無庫存，到貨日平均30天至45天
定價：348 元， 優惠價：87 303
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