TOP
0
0
進階搜尋

熱搜：

雙11

、

優惠券

、

曬書祭

、

蔡康永

、

張曼娟全新創作

、

蔣介石的人才庫

、

Pokemon降臨曆

、

蔣中正日記預購

、

永夜星河電視劇

、

解鎖程兆熊前半生

、

諾貝爾文學獎

、

玫瑰的故事

熱搜： 雙11、 優惠券、 曬書祭、 蔡康永、 張曼娟全新創作、 蔣介石的人才庫、 Pokemon降臨曆、 蔣中正日記預購、 永夜星河電視劇、 解鎖程兆熊前半生、 諾貝爾文學獎、 玫瑰的故事

165反詐騙

領取雙11折扣優惠

縮小範圍

商品類型
簡體書 （1）
商品狀況
可訂購商品 （1）
庫存狀況
有庫存 （1）
商品定價
$600~$799 （1）
出版日期
2024年 （1）
裝訂方式
精裝 （1）
作者
李豔秋、馬旭、孫義鈺、袁淼 （1）
出版社/品牌
科學出版社 （1）

三民網路書店 / 搜尋結果

共1筆商品，1/1頁
先進計算光刻（簡體書）
滿額折
1.

先進計算光刻（簡體書）

作者：李豔秋; 馬旭; 孫義鈺; 袁淼  出版社：科學出版社  出版日：2024/04/01 裝訂：精裝
先進計算光刻技術是集成電製造裝備和工藝的核心技術。《先進計算光刻》主要介紹作者在20餘年從事光刻機研發中，建立的先進計算光刻技術，包括矢量計算光刻、快速-全芯片計算光刻、高穩定-高保真計算光刻、光源-掩模-工藝多參數協同計算光刻等，能夠實現快速-高精度-全曝光視場-低誤差敏感度的高性能計算光刻。矢量計算光刻包括零誤差、全光路嚴格的矢量光刻成像模型及OPC和SMO技術。快速-全芯片計算光刻包括壓縮感知、貝葉斯壓縮感知、全芯片壓縮感知計算光刻技術。高穩定-高保真計算光刻包括低誤差敏感度的SMO技術、全視場多目標SMO技術、多目標標量和矢量光瞳優化技術。光源-掩模-工藝多參數協同計算光刻包括含偏振像差、工件台振動誤差、雜散光誤差的光刻設備-掩模-工藝多參數協同優化技術。解決傳統計算光刻在零誤差假設、局域坐標系、理想遠心、單個視場點獲得的掩模-光源，無法最佳匹配實際光刻系統之所需，導致增加工藝迭代時間的問題。
庫存：1
定價：780 元， 優惠價：87 679
  • 共

暢銷榜
客服中心
收藏
會員專區
三民書局
關於我們
門市專區
藝文講座
學習平台
異業合作
圖書採購/編目
人才招募
禮券兌換處
瀏覽器資訊
三民網路書店服務
會員服務條款
資訊安全警語
隱私權政策
新手購書
圖書分類
中國圖書館分類
空中大學購書
好站連結
企業會員專區
加入企業會員
服務條款
會員須知
圖書目錄下載
三民・東大・弘雅三民
小山丘童書(0-6歲)
兒童・青少年(7歲以上)
古籍圖書目錄
古典圖書目錄
畢業禮品