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簡體書（2）

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出版日期

2024年（1）

2022~2023 （1）

裝訂方式

精裝（2）

作者

趙晉榮（1）

趙晉榮等（1）

出版社/品牌

科學出版社（1）

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等離子體刻蝕工藝及設備（簡體書）

作者：趙晉榮 出版社：電子工業出版社 出版日：2023/02/01 裝訂：精裝

本書以集成電路領域中的等離子體刻蝕為切入點，介紹了等離子體基礎知識、基於等離子體的刻蝕技術、等離子體刻蝕設備及其在集成電路中的應用。全書共8章，內容包括集成電路簡介、等離子體基本原理、集成電路製造中的等離子體刻蝕工藝、集成電路封裝中的等離子體刻蝕工藝、等離子體刻蝕機、等離子體測試和表徵、等離子體仿真、顆粒控制和量產。本書對從事等離子體刻蝕基礎研究和集成電路工廠產品刻蝕工藝調試的人員均有一定的參考價值。

海外經銷商無庫存，到貨日平均30天至45天

定價：588 元，優惠價：87 512

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集成電路與等離子體裝備（簡體書）

作者：趙晉榮等 出版社：科學出版社 出版日：2024/04/01 裝訂：精裝

《集成電路與等離子體裝備》主要介紹了集成電路中與等離子體設備相關的內容，具體包括集成電路簡史、分類和發展方向以及面臨的挑戰，氣體放電的基本原理和典型應用、等離子體刻蝕工藝與設備、等離子體表面處理技術與設備、物理氣相沉積設備與工藝、等離子體增強化學氣相沉積工藝與設備、高密度等離子體化學氣相沉積工藝與設備、爐管設備與工藝等。

海外經銷商無庫存，到貨日平均30天至45天

定價：1008 元，優惠價：87 877

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