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商品類型
簡體書 （1）
商品狀況
可訂購商品 （1）
庫存狀況
無庫存 （1）
商品定價
$800以上 （1）
出版日期
2023~2024 （1）
裝訂方式
精裝 （1）
作者
趙晉榮等 （1）
出版社/品牌
科學出版社 （1）

三民網路書店 / 搜尋結果

共1筆商品，1/1頁
集成電路與等離子體裝備（簡體書）
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1.

集成電路與等離子體裝備（簡體書）

作者：趙晉榮等  出版社：科學出版社  出版日：2024/04/16 裝訂：精裝
《集成電路與等離子體裝備》主要介紹了集成電路中與等離子體設備相關的內容，具體包括集成電路簡史、分類和發展方向以及面臨的挑戰，氣體放電的基本原理和典型應用、等離子體刻蝕工藝與設備、等離子體表面處理技術與設備、物理氣相沉積設備與工藝、等離子體增強化學氣相沉積工藝與設備、高密度等離子體化學氣相沉積工藝與設備、爐管設備與工藝等。
海外經銷商無庫存，到貨日平均30天至45天
定價：1008 元， 優惠價：87 877
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