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本書主要內容包括理論知識、實踐應用、案例分析、英文材料閱讀四個部分。理論知識部分闡述了微電子工藝理論及其與前置理論課程的理論關係；實踐應用部分主要講述了與理論相關的設備原理；案例分析部分針對理論知識選用了簡單的器件案例，描述了案例採用的實驗方法和計算機仿真方法；英文材料閱讀部分針對實際工作進行了專業英語教育，一般由5-10句英文短句構成。
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