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微米納米器件設計（簡體書）
商品資訊
系列名：微米納米技術叢書．MEMS與微系統系列
ISBN13：9787118097849
出版社：國防工業出版社
作者：黃慶安
出版日：2015/03/01
裝訂／頁數：平裝／358頁
規格：23.5cm*16.8cm (高/寬)
商品簡介
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商品簡介
本書是MEMS設計的專著，主要介紹MEMS器件、系統和工藝的模型、類比以及設計方法。在器件級設計中，介紹微感測器和微執行器的工作原理，偏微分方程和耦合偏微分方程的有限元網格劃分、演算法及後處理方法；在系統級設計中介紹MEMS系統級建模方法，例如接點分析法、等效電路法、VHDL等；在MEMS工藝模型中，介紹主要加工方法如矽各向異性腐蝕、DRIE、UV-LIGA等工藝模型及相關演算法（元胞自動機、線演算法等）。最後介紹MEMS設計軟體結構、模組以及使用方法和算例。
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