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內容涵蓋了潔淨室和廠務之八大系統，除此之外有風險管理和建廠工程之規劃內容和執行原則介紹，本書的內容偏重實務之應用面和執行面。本書適合科大冷凍、空調、電子、電機系「半導體廠務」、「半導體與光電廠務設施」課程使用。
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