磁控濺射製備氮化銅薄膜的結構與性能(簡體書)
商品資訊
ISBN13:9787517074397
出版社:中國水利水電出版社(水利電力出版社)
作者:肖劍榮
出版日:2019/04/01
裝訂/頁數:平裝/173頁
規格:26cm*19cm (高/寬)
商品簡介
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磁控濺射是一種通用、成熟的薄膜製備工藝技術,其製備工藝可調劑參數較多,通過精細控制能夠實現對薄膜結構的有效調控。《磁控濺射製備氮化銅薄膜的結構與性能》研究了薄膜的工藝參數、薄膜結構與性能等之間的內在關係,探討了薄膜的電子輸運、光學帶隙、熱穩定性的有關物理量的變化機制。全書結構合理,條理清晰,內容豐富新穎,可供相關工程技術人員參考使用。
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