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微電子工藝與裝備技術（簡體書）
商品資訊
系列名：中國科學院大學研究生教材系列
ISBN13：9787030751928
出版社：科學出版社
作者：夏洋; 解婧; 陳寶欽
出版日：2023/03/01
裝訂／頁數：平裝／227頁
規格：24cm*17cm (高/寬)
商品簡介
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商品簡介
本書重點介紹半導體集成電路製造工藝技術的基本原理、途徑、集成方法與設備。主要內容包括集成電路製造工藝、相關設備、新原理技術及工藝集成。本書力求讓學生在瞭解集成電路製作基本原理與方法的基礎上，緊密地聯繫生產實際，方便地理解這些原本複雜的工藝和流程，從而系統掌握半導體集成電路製造技術。在此基礎上，結合相關課程培養學生掌握集成電路相關專業所必需的基礎知識、基本理論和基本實驗技能，有助於學生理解這些原本複雜的工藝和流程，為集成電路及半導體工藝技術培養專業的工程性人才打下堅實基礎。本書針對非電子信息專業以及無實踐經驗學生的特點和學習要求，注重由淺入深，理論聯繫實際，突出應用和基本技能的訓練，教學儀器及實驗室耗材等全部操作均採用案例教學的方式。
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